檢索專利資料庫：TW、CN、US、JP、EP、PCT
檢索式：(晶圓 OR 晶圆 OR Wafer OR ウェーハ OR ウェハ) AND (清潔 OR 清洗 OR 濕製程 OR Cleaning OR Washer OR 洗浄 OR クリーニング OR 洗浄) AND (系統 OR 設備 OR system OR equipment OR device OR tool OR 装置 OR 機)
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檢索式：(晶圓 OR 晶圆 OR Wafer OR ウェーハ OR ウェハ) AND (清潔 OR 清洗 OR 濕製程 OR Cleaning OR Washer OR 洗浄 OR クリーニング OR 洗浄) AND (系統 OR 設備 OR system OR equipment OR device OR tool OR 装置 OR 機)